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【科铭净化分享】电子行业洁净室的特点

电子行业洁净室的特点

 

电子行业洁净室在维护结构和空调系统气流组织上都有它独有的特点:

 

(1) 电子行业洁净室维护结构要求严密性非常高,并且要求结构尽量不产尘、不积尘。目前,洁净厂房围护结构均为夹心彩钢板,夹心层为岩棉、铝蜂窝、纸蜂窝、聚苯、聚氨酯等,根据厂房性质和业主的要求进行选择。采用上述结构后,洁净室的绝热性将大大加强,外界的热量很难通过维护结构进入室内,同时室内的热量很难通过维护结构传出;

 

电子行业洁净室气流分布要求很均匀。自前洁净室洁净度等级共划分为9个级别,15级的气流组织为垂直或水平单向流洁净室,69级则采用非单向流即乱流。其主要作用在于限制和减少灰尘对工件或工作区域的污染;

 

(2) 电子行业洁净室温湿度要求精度高并且恒定。由于电子产品的制造工艺对温、湿度的变化极为敏感,所以空气参数的波动要控制在极小的范围内,因此,自控系统如DDCPLC等在洁净系统控制中有着不可忽视的作用;

 

(3) 电子行业洁净室洁净室内换气次数高、新风补给量大。因电子厂房工艺设备有着多种性质的工艺排风,如热、酸、碱、有机气体等因排风量很大,这样就需要很大的新风来补给和维持室内的正压,从而保证室内空气不被外界污染。为了维持高洁净度就需要较多的换气次数来过滤尘埃粒子。另外,因电子行业洁净室内部产热量极大而产湿量极小的情况,故需要大量的新风带走热量。

 

4)电子行业洁净室换气次数(按上述自净时间要求设计)1,00043.555.3/小时(规范:50/小时) 10,00023.828.6/小时 (规范:25/小时) 100,00014.419.2/小时 (规范:15/小时)

 

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点击次数:  更新时间:2020-03-07 17:39:53  【打印此页】  【关闭
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